标题: 湿法蚀刻工艺 [打印本页]
作者: jfkj2020    时间: 2021-1-8 10:21
标题: 湿法蚀刻工艺
湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高，因为所用化学药品可以非常精确地适应各个薄膜。对于大多数解决方案，选择性大于100：1。

湿化学YES（1月8）.docx

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湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高，因为所用化学药品可以非常精 ...



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