求半导体晶圆热处理，晶圆上不同位置间温差最小的Matlab程序设计思路

ID:605969 · 发表于 2019-9-1 10:49

半导体晶圆热处理温控Matlab编程程序
半导体晶圆的热处理、光刻工艺中的烘烤操作、针对烘烤操作的温度控制器、PI反馈控制、控制器的反馈信号是烘烤板温度、最终使晶圆上温度分布稳定并达到指定温度、要求晶圆上不同位置间温度差最小、Matlab编程、可编程多区域热处理系统的状态空间模型

ID:540100 · 发表于 2019-9-2 15:59

半导体晶圆热处理，来错片场了吧

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